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高分辨率臺式掃描電鏡在材料領域中的應用

 發布時間:2022-08-19 點擊量:336
  高分辨率臺式掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統兩部分。鏡體部分由電子光學系統、信號收集和顯示系統以及真空抽氣系統組成。由電子槍,電磁透鏡,掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為信號的激發源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
 
  高分辨率臺式掃描電鏡由電子槍發射出來的電子束,在加速電壓的作用下,經過磁透鏡系統匯聚,形成直徑為5nm,經過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學系統,電子束會聚成一個細的電子束聚焦在樣品表面。
 
  檢測樣品在入射電子作用下產生的物理信號,然后經視頻放大作為顯像系統的調制信號?,F在普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體,光導管和光電倍增器所組成。
 
  在材料領域中,掃描電鏡技術發揮著重要的作用,被廣泛應用于各種材料的形態結構、界面狀況、損傷機制及材料性能預測等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產生過程,可以觀察金屬材料內部原子的集結方式和它們的真實邊界,也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式,還可以檢查晶體在表面機械加工中引起的損傷和輻射損傷等。
 
  掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次,高景深的角度呈現材料斷裂的本質,在教學、科研和生產中,有不可替代的作用,在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析已經工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。

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